RESEARCH PROJECT
Leading New Materials
그린리소스는 정부 연구개발 과제를 통해
미래 첨단소재 산업의 새로운 기준을 만들어가고 있습니다.
| 과제명 | 수행년도 |
|---|---|
| 고부가가치 고순도 희토류(란타늄) 메탈 제조의 국산화 | 2013.08.01 ~ 2014.07.31 |
| 1M 이상급 대면적 고융점 합금(Mo-Ta) 타겟 제조기술 개발 | 2013.12.01 ~ 2014.11.30 |
| 반도체공정 중 가스 배출에 의한 안전문제 대응을 위한 폐가스 내 과불화 화합물(PFC)처리용 고내구성 연소분해모듈 개발 | 2014.09.01 ~ 2015.08.31 |
| 플라즈마 내식성 고밀도 후막을 제조할 수 있는 에어로졸 데포지션용 미세 산화이트륨소재 제조기술개발 | 2014.11.25 ~ 2015.11.25 |
| 고성능 영구자석용 고순도 Nd금속 환원 및 정련 기술 | 2016.09.01 ~ 2019.08.31 |
| 제조원가 절감을 위한 희소금속 생산용 친환경 고체 산화물 멤브레인(SOM) 제련기술개발 | 2016.07.01 ~ 2020.12.31 |
| 고출력 F, Cl계 플라즈마 공정 대응 대형부품용 내플라즈마 세라믹 코팅 신소재 및 코팅공정기술 | 2020.04.01 ~ 2024.12.31 |
| 300mm 대면적 반도체 장비 정상식각 구현을 위한 기공율 1%이하, 경도 500Hv 이상 불화물계 내플라즈마 하이브리드 신코팅공법 기술개발 | 2020.07.01 ~ 2021.12.31 |
| 초소형 반도체 건식식각장비 부품 적용 내플라즈마성 물리적기상증착 초고밀도 YAG 코팅기술 개발 | 2020.11.20 ~ 2021.11.19 |
| 서스펜션 플라즈마 용사용 산화이트륨 및 코팅기술개발 | 2021.04.01 ~ 2023.12.31 |
| 최대 용착률 공정파라미터 적정화를 위한 신경망이 탑재된 진공 서스펜션 플라즈마 용사 시스템 개발 및 일본산 세라믹시트 정전척 대체 유전층 제조공정개발 | 2019.11.25 ~ 2021.11.24 |
| 100미크론 이상 두께를 갖는 99%이상의 초고밀도 세라믹 코팅층을 형성시킬 수 있는 서스펜션 플라즈마 용사기술의 국산화 | 2022.04.01 ~ 2024.08.31 |
| 8.X세대 디스플레이용 250℃ 가열 가능한 고온 식각용 하부척 기술 개발 | 2024.07.01 ~ 2028.12.31 |
| 수소 라디칼을 포함하는 반도체 어닐링 공정 장비용 석영유리의 2배 이상 장수명화를 위한 표면개질 및 재활용 재생복원 기술 개발 | 2024.10.01 ~ 2027.12.31 |
자체개발 과제 수행
반도체 제조용 코팅막 및그 제조 방법
대면적 OLED 패널 제조용 챔버의 코팅제
금속염 화합물의 전구체 용액을 이용한 구형 세라믹 분말 제조 방법 및 구형 금속염 분말의 제조 장치
디스플레이(OLED) 식각 장비용 정전척 제작 및 수리