Precision Cleaning

Innovation in Clean Technology

정밀세정

발생된 장비 부품의 Particle, 이온 불순물 등 오염물을 제거하는 공정 손상된 부품 표면을 각 공정조건에 맞도록 유지·관리하고, 모재의 손상을 최소화하며 공정 오염물을 제거하는 등 제품 수명 증가, Uniformity 개선, 미세오염을 제어할 수 있도록 다양한 솔루션을 제공합니다.

그린리소스의 세정 기술은 공정 중 발생하는 부산물과 particle 등 다양한 오염물을 효과적으로 제거합니다. 각 공정과 모재 소재에 최적화된 세정 방식을 적용하여 모재 손상을 최소화하면서도 공정 오염물을 최대한 제거할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 부품을 안전하게 재사용할 수 있어 원가 절감과 공정 효율 향상에 기여합니다.