Special Coating
Exploring the Next Materials
특수코팅
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코팅은 장비 부품표면에 특수코팅 처리를 통하여 공정조건 안정과 제품의 수명을 연장시킬 수 있는 필수적인 공정입니다. 고객사 공정에 최적화된 다양한 종류의 코팅기술을 제공하여 파티클 발생과 표면 손상을 억제하고 챔버의 조건을 안정시킴으로써 제품의 수명 연장 및 생산수율, 가동율이 향상되어 고객사의 원가절감에 이바지하고 있습니다.
그린리소스의 특수 코팅 기술은 장비 부품을 효과적으로 보호하고 수명을 연장시켜 장비 유지 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 공정 중 플라즈마에 의한 부품 식각으로 발생하는 particle을 억제하여 공정 안정성과 생산성을 높이고, 제품의 품질 향상에도 기여할 수 있습니다.
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Atmospheric Plasma Spray
대기 조건에서 고온의 플라즈마를 이용해 코팅 분말을 순간 용융·가속 분사함으로써 제품 표면에 코팅층을 형성하는 기술로, 수십~수백 ㎛ 두께의 우수한 기계적 부착력을 구현합니다.
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Suspension Plasma Spray
서스펜션 플라즈마 스프레이 기술은 미세 분말을 현탁액 상태로 가공한 뒤 고온 플라즈마를 이용해 기판에 증착하는 방식입니다.
기존 대기 플라즈마 스프레이(APS)보다 정밀하고 미세한 입자 제어가 가능하여, 조직이 치밀한 고밀도 코팅층을 완성합니다.
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Aerosol Deposition
상온의 진공 환경에서 nm~㎛ 크기의 미세 입자를 별도의 용융 과정 없이 초고속으로 제품 표면에 충돌시켜 증착하는 기술입니다.
기공률이 0에 가까운 치밀한 고밀도 코팅막을 형성하여 우수한 기계적·화학적 내구성을 제공합니다.
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Physical Vapor Deposition
진공 상태에서 고체 상태의 코팅 재료를 물리적 방식(증발·스퍼터링)으로 기화시켜 미세한 가스 입자 형태로 만드는 공정입니다.
기판 표면에 기공 없이 완벽하게 밀착된 고밀도 코팅층을 완성하여 제품의 내식성, 내마모성 등 기계적 특성을 대폭 향상시킵니다.
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Atomic Layer Deposition
반응물질의 교대 주입을 통한 원자층 단위의 증착 메커니즘을 이용해, 박막의 두께와 조성을 원자 수준에서 오차 없이 정밀하게 제어합니다.
기공 없는 고밀도 코팅막을 완성할 뿐만 아니라 복잡한 3D 구조 표면에도 뛰어난 균일도를 제공하여, 반도체 및 첨단 산업의 고도화된 미세 공정을 충족시킵니다.