Special Coating
Exploring the Next Materials
특수코팅
-
코팅은 장비 부품표면에 특수코팅 처리를 통하여 공정조건 안정과 제품의 수명을 연장시킬 수 있는 필수적인 공정입니다. 고객사 공정에 최적화된 다양한 종류의 코팅기술을 제공하여 파티클 발생과 표면 손상을 억제하고 챔버의 조건을 안정시킴으로써 제품의 수명 연장 및 생산수율, 가동율이 향상되어 고객사의 원가절감에 이바지하고 있습니다.
그린리소스의 특수 코팅 기술은 장비 부품을 효과적으로 보호하고 수명을 연장시켜 장비 유지 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 공정 중 플라즈마에 의한 부품 식각으로 발생하는 particle을 억제하여 공정 안정성과 생산성을 높이고, 제품의 품질 향상에도 기여할 수 있습니다.
-
Atmospheric plasma spray
대기 조건에서 고온의 플라즈마를 이용하여 코팅하고자 하는 물질을 순간적으로 용융 / 분사하여 제품 표면에 형성
고온의 플라즈마를 이용해 코팅하고자하는 분말을 용융, 가속 분사하여 기판 표면에 물질을 코팅하는 기술입니다. 보통 수십~수백㎛의 두께로 형성되며, 기계적 부착력이 강합니다.
-
Suspension plasma spray
서스펜션 플라즈마 스프레이 법은 미세한 분말을 용사 공정에 적용함으로써 전통적인 플라즈마 스프레이 법의 단점을 극복하고자 개발된 코팅법. 상대적으로APS보다 작은 입자를 코팅하여 고밀도의 코팅층을 형성시키는 기술
코팅하고자하는 물질을 현탁액 형태로 제조한 뒤, 고온의 플라즈마를 이용하여 기판 위에 증착하는 기술입니다. APS보다 작은 입자를 코팅할 수 있어 고밀도의 코팅층 형성이 가능합니다.
-
Aerosol Deposition
진공 환경에서 ㎚ ~ ㎛ 크기의 미세 입자를 별도의 용융 과정 없이 아주 빠른 속도로 제품 표면에 충돌 시켜 기공이 없는 고밀도 코팅막을 형성 하는 기술
㎚ ~ ㎛ 크기의 미세 입자를 기판에 고속 충돌시켜 코팅을 형성하는 기술로, 상온의 진공 환경에서 치밀한 코팅을 형성할 수 있습니다. 기공률이 0에 가까우며 기계적, 화학적 특성이 우수합니다.
-
Physical Vapor Deposition
코팅막과 같은 재료를 진공 중에서 물리적인 방법 (증발, 스퍼터링)으로 기화시켜 제품 표면에 고밀도 코팅막을 형성하는 기술
고체 상태의 타겟을 진공 상태에서 물리적인 방법(증발, sputtering 등)으로 기화시켜 기판 표면에 고밀도의 코팅을 형성하는 기술입니다.
-
Atomic Layer Deposition
ALD의 성장 원리는 기존의 화학 기상 증착(CVD)과 유사하지만, 증착 과정에서 반응 전구체가 교대로 증착되고 새로운 원자 층의 화학 반응이 이전 층과 직접적으로 연관되어 각 반응에서 하나의 원자 층만 증착된다는 점을 제외하면 ALD의 성장 원리는 기존의 화학 기상 증착과 유사합니다. 자기 제한적 성장 특성을 가지므로 기판 위에 필름을 컨포멀하고 핀홀 없이 증착할 수 있습니다. 따라서증착 사이클 수를 제어하여 필름 두께를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
원자 단위로 박막을 층층이 증착하는 기술로, 매우 정밀하게 두께와 조성 제어가 가능합니다. 균일하고 결함이 적은 코팅이 가능하며, 복잡한 3D 구조에도 균일하게 증착할 수 있어 최신 미세 공정에 적합합니다.